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808nm垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的研究_百度文库
来自 : 百度文库
发布时间：2021-03-25
为提高808nm垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)的输出功率与电光转换效率,对其湿法氧化工艺进行了实验研究.采用扫描电镜(SEM)的微区分析功能,对样品氧化层按不同的氧化深度进行微区分析.微区分析结果表明:适当降低氧化温度,延长氧化时间,可减小氧化限制孔径的控制误差,提高氧化工艺的准确性;氧化后
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本文链接： http://808thermal.immuno-online.com/view-763514.html
发布于 ： 2021-03-25
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